Правообладатель РИД: МОРИСУЕ Масафуми (JP)

Головка выброса жидкости включает в себя сопло выброса, через которое выбрасывается жидкость, первый проточный канал для жидкости, который сообщается с соплом выброса и через который протекает жидкость, второй проточный канал для жидкости, который сообщается с соплом выброса на противоположной...

Изобретение относится к способу изготовления кремниевой подложки головки для выброса жидкости, которая снабжена элементом генерации энергии для выброса жидкости и отверстием, проходящим через кремниевую подложку, для подачи жидкости к элементу генерации. Способ изготовления подложки включает в...