Правообладатель РИД: Чанг Ку Ри (KR)

Изобретение относится к способам и устройствам для получения нанопорошков из различных материалов. Способ включает испарение мишени электронным пучком, конденсацию паров материала в камере испарения и осаждение нанопорошка. Испарение мишени осуществляют импульсным электронным пучком с энергией...