Правообладатель РИД: Харламов Максим Сергеевич

Способ формирования объемного элемента для устройств микросистемной техники предусматривает формирование маски для анизотропного травления с лицевой стороны и с обратной стороны из двух слоев; обработку кремния в водном растворе, содержащем окислительный компонент для кремния и травящий...

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к конструкциям маятниковых компенсационных акселерометров. Сущность изобретения заключается в том, что маятниковый компенсационный акселерометр содержит балки упругого подвеса лопасти свободные от напыленных на их поверхность...

Использование: для изготовления МЭМС-приборов. Сущность изобретения заключается в том, что способ разделения пластин на чипы и получения сквозных отверстий большой площади для изделий микроэлектроники включает нанесение на обратную сторону пластины полиимидной пленки, нанесение на лицевую...