Правообладатель РИД: Мартынов Денис Владимирович

Изобретение относится к классу молекулярных газовых насосов, использующих эффект теплового скольжения газа вдоль неравномерно нагретых стенок для создания откачки. Насосы такого типа могут быть использованы для откачки газа из микроустройств или в микроаналитических системах, анализирующих...