Правообладатель РИД: Черников Виталий Дмитриевич

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении для контроля скорости осаждения и состава осажденных покрытий. В способе регистрируют эмиссионные спектры атомов...