Правообладатель РИД: Белякова Зоя Васильевна

Изобретение может быть использовано в производстве поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты. Моносилан подвергают ректификации для удаления углеводородов, кипящих выше моносилана. Затем очищают моносилан от этилена на активном оксиде алюминия или на модифицированном платиной,...