Правообладатель РИД: Фролов Владислав Львович

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве устройств отображения визуальной информации на основе низковольтной катодолюминесценции. Предложен способ крепления кремниевой пластины к стеклянной подложке. Проводят механическую обработку и химическую очистку...