Правообладатель РИД: Монахов В.Н.

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронном приборостроении и микромеханике. Микронасос включает одну разрядную ячейку, состоящую из цилиндрического титанового анода и двух титановых катодов. По оси ячейки направлено магнитное поле. На первом катоде имеется...