Правообладатель РИД: Худобенко А.И.

Изобретение относится к области лазерных технологий, более конкретно, к безмасочным способам лазерно-индуцированного формирования рельефа на поверхности полупроводниковых материалов, и может быть использовано при производстве одночастотных полупроводниковых лазеров с распределенной обратной...