Правообладатель РИД: Хромов Валерий Васильевич

Изобретение относится к области изготовления поверхностных наноструктур. Согласно способу напыляют материал наноструктуры на подложку в вакууме при одновременном облучении подложки пространственно модулированным оптическим излучением. Области нулевой интенсивности излучения совпадают с местами...