Правообладатель РИД: ИТИНОСЕ Нобору (JP)

Изобретение относится к технологии производства тонких оксидных монокристаллических пленок и может быть использовано в оптике. Сущность изобретения: тонкую монокристаллическую пленку β-GaO формируют путем выращивания из газовой фазы на подложке, изготовленной из монокристалла β-GaO. Лазерный...