Правообладатель РИД: Панкратова Лариса Павловна

Изобретение относится к области вакуумного напыления тонких пленок и может быть использовано в системах магнитной записи, датчиках, основанных на магниторезистивном эффекте. Проводят послойное напыление магнитного сплава Fe-Ni и SiO в вакууме при приложении в плоскости осаждения внешнего...