Правообладатель РИД: Медведев Б.К.

Изобретение относится к области туннельной и атомно-силовой микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим градуировку сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ). Сущность изобретения заключается в том, что в тестовой структуре для градуировки СЗМ, состоящей из основания и расположенных на нем...