×

Правообладатель РИД: Мокров Е.А.

Показаны записи 1-2 из 2.
29.06.2019
№219.017.9ae6

Способ изготовления микромеханического инерциального чувствительного элемента емкостного типа

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных микромеханических датчиков: акселерометров, гироскопов и др. Технический результат изобретения - повышение чувствительности, упрощение сборки узла чувствительного элемента совместно с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 02207658
Дата охранного документа: 27.06.2003
11.03.2019
№219.016.d679

Тонкопленочный датчик давления

Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды (термоудара). Сущность: датчик...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002261420
Дата охранного документа: 27.09.2005
+ добавить свой РИД