Правообладатель РИД: Спивак Андрей Михайлович

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано при нанесении и исследовании тонкопленочных структур, в особенности в производстве и контроле полупроводниковых микросхем методом сухого травления. Сущность изобретения: устройство для контроля процесса сухого травления...