Правообладатель РИД: Истомин Михаил Геннадьевич

Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству кремния в реакторах водородного восстановления полихлорсиланов, и может быть использовано для регулируемого нагревания стержней поликристаллического кремния в реакторе. Техническим результатом изобретения является...