Правообладатель РИД: Левинский Александр Иванович

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. Плазму атмосферного водорода получают в плазмотроне 1. В камере смешения 5 в плазму тангенциально, через 3-8 вводов трубопровода, имеющего форму тора, вводят смесь водорода и...

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Парогазовую смесь, отходящую от установок водородного восстановления кремния, конденсируют и разделяют на 2 потока. Поток, сконденсированный при температуре минус 95÷105°С, направляют на получение поликристаллического кремния....

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться в производстве поликристаллического кремния на установках водородного восстановления. Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды, заключается в его переводе в газообразное состояние в реакторе с...

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться для очистки от полисиланхлоридов установок водородного восстановления поликристаллического кремния. После процесса водородного восстановления кремния стержни с осажденным на них поликристаллическим кремнием охлаждают до...

Изобретение может применяться в химии и электронике. Кремниевые стержни нагревают до температуры 1100÷1200°С, прокаливают в среде водорода и травят хлористым водородом, образовавшимся в результате реакции тетрахлорида кремния и водорода при мольном соотношении (2÷1):1. При приготовлении...

Изобретение может быть использовано для водородного восстановления кремния. На разогретых кремниевых стержнях-основах 5 ведут процесс водородного восстановления трихлорсилана. Затем перекрывают подачу в реактор трихлорсилана и подают в патрубок ввода 3 в крышке реактора 1 отфильтрованную смесь...