Правообладатель РИД: Кучумов Б.М.

Изобретение относится к металлургии кремния, а именно к получению трихлорсилана - SiHCl, используемого в производстве полупроводникового кремния, из тетрахлорида кремния - SiCl. Способ получения трихлорсилана включает активацию реакции взаимодействия тетрахлорида кремния с водородом...