Правообладатель РИД: Ладур Александр Александрович

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к устройствам для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых или диэлектрических пластинах. В устройстве согласно изобретению коаксиальный разъем с помощью гермоввода соединен с...