Правообладатель РИД: Полисан А.А.

Изобретение относится к химии, а именно к химическим технологиям, и может использоваться в электронике для нанесения пленок на подложки и очистки поверхностей травлением, в химической промышленности для получения особо чистых веществ, в том числе объемных твердотельных материалов, в металлургии...