Правообладатель РИД: Калямин Алексей Александрович

Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано для определения локальной подвижности носителей заряда в локальной области полупроводниковых структур в процессе изготовления и испытания полупроводниковых приборов. Изобретение обеспечивает расширение функциональных...