Правообладатель РИД: Гареев Руслан Рамилевич

Изобретение относится к области нанесения покрытий методом термического испарения пленкообразующих материалов, преимущественно диэлектриков, в вакууме, а именно к испарителю, применяемому в вакуумных установках для нанесения покрытий на подложки. Испаритель содержит корпус 1 для испаряемого...