Правообладатель РИД: Третников Пётр Васильевич

Изобретение относится к способу вакуумного ионно-плазменного получения тонкой аморфной пленки из фосфор-оксинитрида лития (LiPON) на поверхности стальных подложек с плавающим потенциалом. Зажигают разряд между самонакаливаемым полым катодом и кольцевым анодом, проводят очистку поверхности...

Изобретение относится к ионно-плазменному низкотемпературному осаждению нанокристаллического покрытия из оксида алюминия на изделия. Осуществляет плавление и испарение алюминия в плазме разряда низкого давления и формирование покрытия осаждением потока частиц плазмы на поверхность изделия в...