Правообладатель РИД: Алтухов Роман Сергеевич

Изобретение относится к установкам для напыления в вакууме многослойных покрытий различных оптических элементов и может быть использовано для контроля толщины покрытий в широком спектральном диапазоне в процессе их напыления. Способ определения толщин слоев включает расчет толщин слоев для...