Правообладатель РИД: Тарасов Олег Александрович

Изобретение относится к способам очистки твердых поверхностей от микрочастиц и может быть использовано для удаления микрочастиц с поверхности полупроводниковых пластин, а также в космической оптике, оптике высокого разрешения, фотонике. На загрязненную микрочастицами поверхность наносят слой...