Правообладатель РИД: Минжулина Екатерина Андреевна

Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов TiWO относится к устройствам, используемым в электронике, оптоэлектронике, архитектуре, автомобилестроении и др. Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленки в виде твердого раствора TiWOсо стехиометрическим коэффициентом в...

Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FeTiO в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики. Упомянутый блок содержит мишень и охлаждающую пластину, причем мишень и охлаждающая пластина размещены в реактивной среде,...