Правообладатель РИД: Смирнов Владислав Юрьевич

Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FeTiO в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики. Упомянутый блок содержит мишень и охлаждающую пластину, причем мишень и охлаждающая пластина размещены в реактивной среде,...