Правообладатель РИД: Баев Сергей Геннадьевич

Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке, и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности различных подложек из диэлектрических или металлических материалов, например из оптического материала и полупроводниковых...

Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности подложек из стекла, кристаллов и полупроводниковых материалов при изготовлении оптических шкал, сеток, решеток и других...