×

Правообладатель РИД: Шагурина Анастасия Юрьевна

Показаны записи 1-1 из 1.
29.06.2018
№218.016.68c0

Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии

Использование: для создания планарных структур. Сущность изобретения заключается в том, что способ формирования планарных серебряных структур на поверхности кремниевых пластин включает осаждение металлических частиц, которое происходит за счет локальной диссоциации соли серебра, индуцированной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002659103
Дата охранного документа: 28.06.2018
+ добавить свой РИД