Правообладатель РИД: Зверев Кирилл Анатольевич

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения скорости и температуры раскаленных газовых потоков, включая пламена. Предлагается универсальная (пиромеханическая) микросистема, выполненная из полупроводникового карбида кремния и состоящая из...