Правообладатель РИД: Афанасьев Михаил Мефодьевич

Изобретение относится к составам для жидкостного травления сегнетоэлектрических пленок, в частности пленки титаната бария, над пленкой платины на кремниевой подложке. Селективный травитель сегнетоэлектрика титаната бария включает фтористоводородную кислоту (10-50 об.%), серную кислоту (25-50...

Изобретение относится к негативным фоторезистам для процессов формирования топологических элементов микроэлектронных устройств с использованием «взрывной» фотолитографии. Предложена композиция негативного фоторезиста для «взрывной» фотолитографии, содержащая (мас.%) фенолоформальдегидную смолу...