Правообладатель РИД: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук

Изобретение относится к способам изготовления автоэмиссионных катодов с применением углеродных нанотрубок и может быть использовано для изготовления элементов и приборов вакуумной микро- и наноэлектроники. Способ включает осаждение на подложку электропроводящего буферного слоя, осаждение...