Правообладатель РИД: ГРАНТ, Вильям (US)

Изобретение относится к системе для плазменного напыления покрытий (варианты) и установке для плазменного напыления покрытий (варианты). Система содержит катод магнетрона с длинной кромкой и короткой кромкой. Магнитный полюс магнетрона обеспечивает создание электромагнитного барьера. По...

Изобретение относится к системе и способу нанесения покрытия. Система включает вакуумную камеру и узел для нанесения покрытия. Узел для нанесения покрытия включает в себя источник пара, держатель подложки, удаленный анод, электрически соединенный с мишенью-катодом, и узел катодной камеры. Узел...

Изобретение относится к способу и системе для нанесения покрытий на подложку. В системе узел нанесения покрытия расположен внутри вакуумной камеры. Узел нанесения покрытия включает источник паров, обеспечивающий наносимый на подложку материал, подложкодержатель, удерживающий подложку, на...