Правообладатель РИД: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (АО "НИИПП")

Изобретение относится к полупроводниковой электронике. Способ изготовления диода с вискером "Меза-подложка" терагерцового диапазона включает нанесение на поверхность гетероэпитаксиальной структуры диэлектрической пленки, в которой по маске фоторезиста травлением до высоколегированного катодного...