Правообладатель РИД: Сушенцов Николай Иванович

Изобретение относится к способу получения фотокаталитической пленки оксида титана и установке магнетронного распыления для осуществления указанного способа. Подложку из стекла толщиной 2-8 мм промывают в ультразвуковой ванне с дистиллированной водой, затем чистят в парах этилового спирта....

Изобретение относится к технологии тонких пленок и может быть использовано при отработке технологии получения пленок, когда необходимо определить скорости напыления пленок в зависимости от расстояния источника материала-подложка.Техническим результатом изобретения является ускорение процесса...