Правообладатель РИД: Белкин Олег Анатольевич

Изобретение относится к изготовлению распыляемых композитных мишеней сплава Гейслера CoMnSi, которые могут найти применение при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Спекание...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoMnSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера CoFeSi. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Порошковую смесь готовят из высокочистых порошков кобальта,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoFeSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi, спекание-прессование полученной...