Правообладатель РИД: Лесников Валерий Павлович

Изобретение относится к составной мишени для магнетронного распыления. Мишень содержит плоскую нижнюю базовую часть, изготовленную из первого компонента осаждаемого на подложку материала пленки, и как минимум одну размещенную на указанной нижней базовой части верхнюю накладную часть,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемых композитных мишеней сплава Гейслера CoMnSi, которые могут найти применение при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Спекание...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoMnSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее...

Изобретение относится к магнетронному распылению составной мишени с частями, изготовленными из отдельных компонентов осаждаемого на подложку материала пленки. Подготавливают тонкие плоские шаблоны, имеющие форму и соответствующую заданному изменению состава осаждаемого на подложку материала...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера CoFeSi. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Порошковую смесь готовят из высокочистых порошков кобальта,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoFeSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi, спекание-прессование полученной...