Правообладатель РИД: Демидов Евгений Сергеевич

Изобретение относится к составной мишени для магнетронного распыления. Мишень содержит плоскую нижнюю базовую часть, изготовленную из первого компонента осаждаемого на подложку материала пленки, и как минимум одну размещенную на указанной нижней базовой части верхнюю накладную часть,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемых композитных мишеней сплава Гейслера CoMnSi, которые могут найти применение при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Спекание...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoMnSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее...

Изобретение относится к магнетронному распылению составной мишени, выполненной из плоской нижней базовой части и, по меньшей мере, одной верхней накладной части мишени, изготовленных из двух компонентов осаждаемого на подложку материала пленки. Регулируют изменение площади поверхности...

Изобретение относится к магнетронному распылению составной мишени с частями, изготовленными из отдельных компонентов осаждаемого на подложку материала пленки. Подготавливают тонкие плоские шаблоны, имеющие форму и соответствующую заданному изменению состава осаждаемого на подложку материала...

Изобретение относится к опреснительным установкам. Автономный солнечный опреснитель морской воды содержит автономный источник электричества и последовательно соединенные концентратор 1 солнечной энергии, испаритель 5 воды, охладитель 11 водяного пара, конденсатный насос для вывода конденсата,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера CoFeSi. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Порошковую смесь готовят из высокочистых порошков кобальта,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoFeSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi, спекание-прессование полученной...