Правообладатель РИД: ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ ТЕХНИЧЕСКОЕ БЮРО ЭЛЕКТРОНИКИ, ПРИБОРОСТРОЕНИЯ И АВТОМАТИЗАЦИИ" (ООО "СКТБ ЭлПА")

Изобретение относится к областям вакуумного и электронного приборостроения, ядерной технике и другим областям, требующим высокой чистоты от поверхностей, работающих в условиях контролируемой внешней среды. Датчик чистоты поверхности пластин содержит исследуемую пластину, установленную с...