×

Правообладатель РИД: Лейбниц-Институт Фюр Полимерфоршунг Дрезден е.Ф. (DE)

Показаны записи 1-1 из 1.
25.08.2017
№217.015.ac7e

Способ и устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием

Изобретение относится к области измерительной техники и касается способа и устройства определения топографии поверхности подложки с покрывающим слоем. Способ включает в себя измерение высоты поверхности покрывающего слоя на подложке по координатам x-y с использованием хроматического измерения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002611981
Дата охранного документа: 01.03.2017
+ добавить свой РИД