Правообладатель РИД: Соколов Леонид Владимирович

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектромеханическим преобразователям. Кремниевый микроэлектромеханический преобразователь содержит тонкую квадратную мембрану и тензорамку с тензорезисторами мостовой схемы, при этом тензорамка выполнена монолитной с...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к технике измерения неэлектрических величин, а именно к тензорезисторным датчикам абсолютного давления на основе кремний-на-изоляторе (КНИ) микроэлектромеханической системы. Тензорезисторный датчик абсолютного давления содержит корпус с...