Правообладатель РИД: Образцов Денис Владимирович

Изобретение относится к устройству для контроля и управления процессом напыления проводящей тонкой пленки. Упомянутое устройство включает вакуумную камеру, испаритель напыляемого вещества, электромеханическую заслонку, блок из пяти проволочных резистивных свидетелей и блок питания для нагрева...

Изобретение относится к методам контроля технологических параметров и устройству для его осуществления. Описан способ контроля технологических параметров процесса формирования высокоэффективного катализатора на электродах твердооксидных топливных элементов, включающий размещение контрольного...

Изобретение относится к синтезу островковых металлических катализаторов и углеродных нанообъектов и может быть использовано в промышленности для производства нанообъектов и наноструктурированных пленок. Способ формирования углеродных нанообъектов на ситалловых подложках включает размещение...