Правообладатель РИД: Трунина Ольга Евгеньевна

Заявленное изобретение предназначено для использования в электронной промышленности при изготовлении герметизированных магнитоуправляемых контактов (герконов) с азотированными контактными поверхностями. Технический результат изобретения заключается в повышении производительности оборудования...

Изобретение относится к технологии, связанной с процессами легирования и диффузии примесей в полупроводники, а именно к способам диффузионного перераспределения примеси с поверхности по глубине полупроводниковых пластин, и может быть использовано в производстве солнечных фотоэлементов,...