Правообладатель РИД: Прокофьев Александр Васильевич

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Сущность: заключается в том, что мощный источник ЭУФ излучения с двумя жестко закрепленными на валу вращения дискообразными электродами содержит систему инициирования разряда в периферийной области межэлектродного...

Изобретение относится к области плазменной техники. Технический результат - расширение функциональных возможностей источника высокотемпературной плазмы и ЭУФ излучения за счет реализации возможности его эксплуатации в долговременном режиме при высоких яркости, мощности и эффективности....