Правообладатель РИД: РАММ,Юрген (CH)

Изобретение относится к способу изготовления препятствующего оксидированию барьерного слоя на подложке детали и подложке с упомянутым барьерным слоем. Осуществляют физическое осаждение из газовой фазы (PVD) непроницаемого для кислорода препятствующего оксидированию барьерного слоя на непокрытой...

Изобретение относится к получению на подложке слоя на основе диоксида циркония. Применяют реактивное дуговое распыление с пульсирующим током искрового разряда и/или приложением ортогонального искровой мишени магнитного поля. Для получения слоя используют смешанную мишень, включающую...