×

Правообладатель РИД: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Дальневосточный федеральный университет"

Показаны записи 1-1 из 1.
10.08.2016
№216.015.548d

Способ формирования упорядоченных структур на поверхности полупроводниковых подложек

Изобретение относится к области нанотехнологий, а именно к способу создания упорядоченной ступенчатой поверхности Si(111)7×7, покрытой эпитаксиальным слоем силицида меди CuSi, и может быть использовано при создании твердотельных электронных приборов, например сенсоров газов или молекул....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002593633
Дата охранного документа: 10.08.2016
+ добавить свой РИД