Правообладатель РИД: ША Пэнфэй (CN)

Согласно настоящему изобретению предложена эксимер-лазерная система. Камера задающего генератора может генерировать лазерные импульсы с суженной шириной линии и малой энергией посредством модуля сужения ширины линии в качестве затравочного света. Затравочный свет преломляется блоком создания...

Изобретение относится к области лазерной техники, в частности к однополостной двухэлектродной разрядной камере для фотолитографии и к эксимерному лазеру, включающему в себя такую разрядную камеру. Разрядная камера может содержать корпус камеры и два набора главных разрядных электродов. Корпус...