Правообладатель РИД: МЭППЕР ЛИТОГРАФИ АйПи Б. В. (NL)

Изобретение относится к литографической системе, содержащей множество узлов литографической системы. Каждый узел литографической системы содержит устройство литографии, расположенное в вакуумной камере для нанесения картины на подложку, систему блокировки нагрузки для переноса подложек в и из...