×

Правообладатель РИД: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ)

Показаны записи 1-1 из 1.
20.01.2016
№216.013.9fb5

Способ изготовления датчика давления повышенной стабильности на основе нано- и микроэлектромеханической системы

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572527
Дата охранного документа: 20.01.2016
+ добавить свой РИД