Правообладатель РИД: Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технологический центр микро- и нанотехнологий"

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых наноматериалов. Способ получения массивов наноразмерных нитевидных кристаллов кремния включает подготовку ростовой кремниевой подложки путем нанесения на ее поверхность нанодисперсных частиц катализатора конденсацией микрокапель...